FineSAT Ⅴ (사진은 옵션을 장착하고 있습니다)

측정 시간이 최대 25 % ^*2 단축 초음파로 반도체와 전자 부품을 정밀 고속 검사

반도체 · 전자 부품의 내부 미세 구조와 결함을 초음파의 반사 투과 특성을 이용하여 비파괴로 검출 · 화상 화하는 장치로서 "FineSAT 시리즈」를 제공하고 있습니다.
최근 요구의 고도화에 대응하기 위해 기존 모델 "FineSAT Ⅲ '의 기능을 강화하고,보다 고정밀 · 고속 측정 및 검사를 가능하게하는"FineSAT Ⅴ'를 개발했습니다.
"FineSAT Ⅴ '는 독자 개발 한 데이터 처리 소프트웨어와 대량의 데이터를 고속으로 처리하기 위해 새로 채용 한 64bit 처리 시스템을 고속 · 고정밀 스캐너와 결합하여 검사 · 분석 시간을 단축합니다.

스캐너의 최대 스캔 속도를 2,000mm / s 업, 검사 ​​시간을 단축

웨이퍼 등의 큰 샘플의 측정에서는 스캐너의 스캔 속도가 측정 시간에 큰 영향을 미칩니다. FineSAT Ⅴ는 고속 스캐너의 채용 이외에 초음파 펄스의 발생주기를 1/2로하여 측정 시간은 25 % * 2 단축합니다. 가감 속 시간을 제외한 스캐너의 최대 스캔 속도 2,000mm / s * 3 에 향상, 새로운 디자인의 고 강성 프레임에 의해 장비의 진동을 억제하기 위해 고속 스캔에서도 선명한 화상을 얻을 수 있습니다.

설치 장소 및 작업 성을 고려한 장비

1클린 룸에서의 사용을 고려하여 스캐너의 문은 플립 방식을 채용 함과 동시에 문 옵션으로 제전 타입의 투명 패널도 준비하고 방진성을 높이고 있습니다.

2샘플 세팅 및 유지 보수시에는 스테이지 프레임 탈착이 원활하게 이루어질 수 있도록 전면 하단 창은 180 ° 아래로 회전시켜 전개 할 수 있습니다.

3본체 조작부는 제전 패널을 채용하고 운영자의 정전기의 영향을 억제합니다.

4본체 전원 ON만으로 리프터 승강 조작 가능. FineSAT 소프트웨어를 실행하지 않고도 작동합니다.

5수중 스위치 상자를 표준 장비하고 있습니다. 기존 스캐너에있는 프로브를 이동하면 모니터 화면에있는 버튼을 마우스 조작하거나 키보드를 조작하여 프로브와 모니터 또는 키보드를 번갈아 시선 이동시키면서 실시했습니다. 수중 스위치 상자를 사용하면 시선을 떼지 않고 프로브 위치의 미세 조정이 가능합니다.

6모니터 화면 크기를 23 인치로하고, 데이터 분석 등의 시인성과 작업 성을 대폭 향상.
옵션 트윈 모니터 할 수 있습니다.

• * 1GUIPC이 옵션의 경우입니다.
• * 2당사 기존 기기에 비해 조건에 ​​따라 달라집니다.
• * 3측정 조건에 따라 최대 스캔 속도가 제한 될 수 있습니다.

고분해능 파형 표시

초음파 측정 시간 단위를 기존 대비 1/4로 설정할 수 있기 때문에 깊이 방향의 해상도가 4 배 증가했습니다. 미세 다층 화가 진행되는 전자 장치의 얇은 층의 결함이나 박리를 감지하고 깊이 위치 정보의 정확도가 향상됩니다.

멀티 포커스

초점 위치를 연속적으로 바꾸어 주사하는 기능으로, 1 회의 측정에서 서로 다른 깊이에 초점이 맞는 이미지를 얻을 수 있기 때문에 결함의 간과를 방지합니다.

멀티 게이트 썸네일 표시

멀티 게이트에서 측정 된 다른 정보 이미지는 썸네일을 생성하고 선택 가능한 나열 할 수 있습니다. 썸네일 이미지는 개별적으로 색상 팔레트를 변경할 수 있습니다.

추종 스캔 기능

고르지 않은 변형 된 웨이퍼 나 부스럼있는 피 검체에 적용 가능한 검사 방법입니다.
피 검체의 표면을 추종하도록 검색을 할 수 있습니다.

오버레이 (반사 이미지 / 투명 이미지의 중첩)

반사법 / 투과 법 동시 측정에서 얻은 두 이미지를 겹쳐서 표시 할 수 있습니다. 또한, 디스플레이 이미지는 투과 비율을 조정할 수있어 판단하기 쉬운 이미지로 설정할 수 있습니다.

이미지 선명하게 볼륨 이미지 보이드 뷰어 등의 소프트웨어를 옵션으로 준비

초음파 신호의 열화를 보충 이미지를 더 선명하게 이미지 선명도 소프트와수록 파형 데이터를 측정 후 측정 이미지와 파형을 분석 할 수있는 볼륨 이미지 소프트 보이드 (결함) 표시에서 양부 판정 · 통계 처리 보이드 뷰어 소프트 등의 고급 분석 소프트웨어와의 조합이 가능합니다.