전자 스캔 방식 고속 초음파 영상 장치 ES5100은 진동자를 직선으로 다수 배열 한 어레이 프로브를 탑재하고 포커스 포인트를 전자식으로 이동시킴으로써 반도체 및 전자 부품, IGBT 등의 파워 모듈 내부를 고속으로 영상화하는 장치입니다.

영상 표시 속도는 측정 피치가 동일한 경우 단일 프로브 기계 검사에 의한 포커스 포인트의 이동 방식에 비해 빠르게 표시 할 수 있습니다.

어레이 프로브 (진동자면)

전자 스캔 이미지

전자 스캔 방식으로는 최대 75MHz (공칭 주파수)의 고주파를 실현 어레이 프로브 라인 주사로 고속 측정을 가능하게하고, 피 검체 내부에 발생한 박리 미세 공극 등을 신속하게 영상화합니다.
예를 들어 30mm 각의 피 검체를 200μm 피치로 스캔하면 약 4 초 측정이 종료 깊이 방향의 평면 이미지 (이하 C 범위) 속도 표시하고 반사 에코 강도의 분포를 확인하실 수 있습니다 . 또한 실시간 단면 상 (이하 B 범위) 표시와 함께 파형 (이하 A 범위)에서 피 검체 내부 상황의 관찰에 위력을 발휘합니다.

실시간 영상보기

A 범위 + B 범위 표시

C 범위 표시

고정밀 분석 표시

멀티 포인트 파형 표시

썸네일 계층 표시

3D 블록 표시

3 방향 단면도 (에코 높이 표시)

전체 파형 캡처 모드

에코 높이 강조 표시 (옵션)

국소 물 침법 *

파워 모듈 등 총 몰 수 침법의 적용이 어려운 피 검체에도 대응 가능한 측정 방법입니다. 물과의 접촉을 최대한 줄이기 위해 피 검체에 초음파 어레이 프로브를 아래에 배치하고 거기에 채운 물과 피 검체를 접촉시켜 측정합니다.