전자 스캔 방식 고속 초음파 영상 장치 ES5100은 진동자를 직선으로 다수 배열한 어레이 프로브를 탑재하고 포커스를 전자식으로 이동시킴으로써 반도체 및 전자 부품, IGBT 등의 파워 모듈 내부를 고속으로 영상화하는 장치입니다.

영상 속도는 측정 피치가 동일한 경우 단일 프로브 장비에 의한 포커스 이동 방식에 비해 빠르게 표시 할 수 있습니다.

어레이 프로브 (진동자면)

전자 스캔 이미지

ES5100, an electronically scanned high-speed ultrasonic imaging device, is equipped with an array probe that arranges multiple oscillators inline and moves the focus electronically to imaging the inside of semiconductors, electronic components, and IGBTs at high speed.

Provides mind blowingly fast scanning compared to single probe tool under the same scanning pitch.

Array Probe Sensor

Scanning Image

전자 스캔 방식으로는 최대 75MHz 의 고주파 어레이 프로브 라인 라인스켄으로 고속 측정을 가능하게하고, 샘플 내부에 발생한 박리 미세 보이드 등을 신속하게 이미지화합니다.
예를 들어 30x30mm 샘플을 200μm 피치로 스캔하면 약 4초 만에 깊이 방향의 평면 이미지 (이하 C Scan) 화 하고 반사 에코 강도의 분포를 확인하실 수 있습니다 . 또한 실시간 단면 상 (이하 B 범위) 표시와 함께 파형 (이하 A 범위)에서 샘플 내부 상황의 관찰에 위력을 발휘합니다.

Up to 75MHz high frequency line scanning and display inner voids or delaminations at ultra fast speed.
Approx. 4sec, 30 x 30mm, 200um pitch. Powerful for inner detection through real-time cross-section (B Scan) display and waveform (A Scan).

A 범위 + B 범위 표시

A + B Scan

C 범위 표시

C Scan

고정밀 분석 표시

High-Resolution Analysis

멀티 포인트 파형 표시

Multi Point A-Scan

썸네일 계층 표시

Thumbnail multi layer

3D 블록 표시

3D Block Display

3 방향 단면도 (에코 높이 표시)

3-dimensional cross section view

전체 파형 캡처 모드

Waveform Capture

에코 높이 강조 표시 (옵션)

Echo Differential

WaterFall Scan*

파워 모듈 등 수중 스켄이 어려운 샘플에 적용 가능한 측정 방법입니다. 물과의 접촉을 최대한 줄이기 위해 샘플에 초음파 어레이 프로브를 아래에 배치하고 샘플에 물을 흘리면서 측정합니다.

Applicable to avoid underwater scanning like Power Modules. Scanning by flowing water in between sample and the probe to minimize contact with water.