히다치 초음파 탐상장비

FineSAT Ⅲ.

요약

(사진은 옵션을 장착하고 있습니다)

초음파 영상 장치 FineSAT는 반도체 패키지, 전자 부품, 세라믹 · 금속 · 수지 부품 등의 내부 공극, 균열, 박리 등의 결함을 초음파를 이용하여 비파괴로 영상화하는 장치입니다. X 선 장치, 적외선 검사 장비, 광학 현미경으로는 감지 할 수없는 나노 미터 수준의 불량도 발견 할 수 있습니다.

FineSAT의 3 대째가되는 FineSAT Ⅲ은 정평이 나있는 해상도 등의 기본 성능에 고속 자동 측정, 투과 · 반사 동시 측정 기능 및 결함 자동 판정 기능 등의 해석 소프트웨어의 적용이 가능합니다. 또한, 결함 데이터의 대량 저장 등의 사용성 향상도 실현하여 생산 공정에서 대량 검사에서 연구 개발에 이르기까지 다양한 용도로 활용되고 있습니다.

FineSAT visualizes non-destructively internal voids, cracks, and delamination of packages, components, ceramics, metals, and resin. Even detects nano-level defects cannot be detected by X-rays, infrared, or optics.

The 3rd gen. FineSAT Ⅲ, a well-known performances, is capable of applying analysis software such as high-speed automatic measurement, simultaneous transmission and reflection measurement function, and automatic defect determination.
In addition, improved usability, like mass storage of defect data and is used for a variety of purposes, from process and mass inspection to research and development.

특징

넓은 개구부에서 안전성을 향상
샘플의 로딩/언로딩에 편리한 넓은 개방에 오조작 방지용 영역 센서를 마련하는 등 기계적, 전기적 사고를 방지하는기구를 표준으로 적용하고 있습니다.
작업 요구에 치밀하게 대응
작은 샘플의 고정을 용이하게하는 자석 플레이트, 일상 점검에 필수적인 표준 시험편을 적용하였습니다. 이 밖에 소프트웨어상 도움말 기능 등을 비롯한 일반적인 조작성 향상에 치밀하게 대응하고 있습니다.
사용의 용이성과 안전성의 추구
양쪽의 대형 윈도우, LED 조명 전원 스위치 보호 커버, 전면 투명 패널의 탈착화 등 보다 사용하기 쉽고 안전하게 작업 할 수 있도록 작은 부분까지 신경썼습니다.

*따른 인쇄 회로 기판을 고정하는 지그 샘플 뒷면을 물에 젖지 않도록 측정하는 국소 물 침지 장치 등의 옵션도 있기 때문에, 부담없이 문의하십시오.

Improved safety in wide opening area
Mechanical and electrical failure prevention applied as standard, wide opening for convenient sample loading/unloading and sensors for human error or collision.
Considered Details
Magnetic plates for small sample holding and calibration sample for maintenance. Also keep improving for easier operation including Help menu in software.
Pursuing ease of use and safety
We paid attention to even the smallest details for easier and saferer operation such as large windows on both sides, LED light power switch cover and detachable front transparent panel.

기능

다양한 Transducer 라인업
반사모드용 저주파에서 고주파까지, 짧은 초점 거리에서 긴 초점 거리까지 측정 대상물이나 측정 조건에 맞는 프로브를 풍부하게 보유하고 있으며, 이외에 투과측정 프로브를 갖추고 있어 고객의 측정 대상물에 적합한 프로브를 찾을 수 있습니다. 적절한 프로브의 선정을 도와드리겠습니다.

*요구시 측정 샘플을 물에 담그지 않고 측정 할 수있는 국소 물 침수형 프로브의 제작도 가능합니다.

Various Transducer line-up
We have a wide range of probes suitable for measurement samples and conditions, from low to high frequencies for reflection mode, and from short to long focal lengths. In addition, we also have transmission measurement probes, so you can find a probe that suits your purpose. WE can help you to find suitable probe.

*Waterfall probe also available.

진화한 FineSAT Ⅲ 분석 소프트웨어
FineSAT Ⅲ에서는 파형 분석, 측정 및 박리 판정 깊이 맵 등의 해석 소프트웨어를 더욱 발전 시켰습니다.
± 위상 절대 강도, 깊이 데이터를 실시간으로 비교할 수 있습니다. 파형 중첩 표시는 다른 시간 축에서 자동으로 시간 축이 조정 된 저장도 할 수 있습니다. 또한 화소간 보간 처리와 자동 콘트라스트등 보다 보기 쉬운 데이터를 쉽게 얻을 수 있습니다.
멀티 게이트는 최대 64개의 게이트 설정이 가능하며, 각 게이트의 데이터와 측정 조건의 일괄 저장 및 이미지 데이터를 1개의 파일에서 확인 가능합니다.
또한 파형을 캡처, 오프라인 게이트상 위치 변경하여 영상을 다시 그리기 기능도 표준 장비하고 있습니다. FFT 분석 또는 3D 뷰어 소프트웨어 (옵션)을 추가하여보다 입체적인 초음파 영상 데이터를 구축 할 수있어 내부의 구조 분석을 강력하게 지원합니다.
Advance FineSAT Ⅲ Analysis software
FineSAT Ⅲ has much advanced analysis software such as waveform analysis/measuring and delamination judge depth map.
±Phase absolute intensity and depth data can be compared in real time. Waveform overlay display can also be saved with the time axis adjusted automatically from a different time axis. In addition, you can easily obtain easier-to-view data such as interpixel interpolation processing and automatic contrast.
Up to 64 multi gated images in 1 image file.
In addition, the function of capturing waveforms and changing the position on the offline gate to redraw the image is also standard. By adding FFT analysis or 3D viewer software (optional) powerfully support for internal structure analysis with 3D image data.

반사 강도와 깊이의 프로파일을 동시에 표시하고 복합 평가가 가능합니다.

Displaying Reflection intensity and Depth at the same time and enables comprehensive Evaluation.

± 위상 절대 강도, 깊이 극성 강조를 실시간으로 비교 분석 할 수 있습니다.

± Phase Strength, Depth Polarity Analysis in Real-time.

3D 뷰어 소프트웨어 (옵션)
3D로 모양을 복원 · 가시화 수평 · 수직 모두 360 ° 회전시켜 어떤 관점에서 관찰하고, 임의의 위치에서 단면 표시를 할 수 있습니다.

3D Viewer Sotfware (Option)

사양

모델 FS100Ⅲ FS200Ⅲ FS300Ⅲ
대응 프로브 (MHz) * 5~75 5~140 5~300
유효 주사 범위 (mm) 350 × 350 **
프로브 높이 스트로크 (mm) 80
최소 스캔 피치 (μm) 0.5
최대 스캔 속도 (mm / s) 1,000
외형 치수 (mm) 1,590 × 1,340 × 940
질량 (kg) 약 380
전원 사양 *** AC100V / 15A 50 / 60Hz
  • *5MHz 미만의 프로브에 대해서는 문의 해주십시오.
  • **더 이상 주사 범위에 대해서도 대응 가능하므로 문의하십시오.
  • ***해외의 경우, 이외의 사양도 가능합니다.
  • 본 제품은 초음파의 출력이 5W 이하에 설치 신고 등의 필요가 없습니다.
  • 영어 버전의 소프트웨어도 제공하고 있습니다.
Model FS100Ⅲ FS200Ⅲ FS300Ⅲ
Probe Frequency (MHz) * 5~75 5~140 5~300
Scan Range (X × Y) (mm) 350 × 350 **
Probe Z Range (mm) 80
Min. Scan Pitch (μm) 0.5
Max. Scan Speed (mm/s) 1,000
Dimension (W × H × D) (mm) 1,590 × 1,340 × 940
Weight (kg) about 380
Main Power (V/A/Hz) AC100V / 15A 50 / 60Hz
  • * Please contact for < 5MHz Probe
  • ** Please contact for customized scan range

치수도