고해상도로 정평이 나있는 FineSAT Ⅲ를 기반으로 해상도를 향상 시켰습니다.
고해상도에 대응하는 장비로 기존 사용하는 초음파의 주파수를 올릴 수 있습니다.
고주파화는 한편으로는 전달하는 매질에서의 감쇠가 커져 S / N 비가 저하되는 단점이 있었고 실제 검사 용도로는 300MHz 전후가 실질적인 최고 주파였습니다.

300MHz의 초음파는 최적 조건에서 5μm 정도의 검출로 최신 LSI 패키지에 적용되고있는 TSV, Cu 필러 등의 미세 구조의 검사에 적용 할 수 없었습니다.
FineSAT HR은 이러한 초음파 검사 장치의 한계를 넘기 위해 새로운 장비를 개발하고 분해능을 향상시키는 데 성공한 기종입니다.

Even Higher Resolution version based on FineSAT Ⅲ which has a reputation for high resolution.
For even higher resolution, provides even higher frequency.
Higher frequencies had the disadvantage of lowering the S/N ratio due to increased attenuation and around 300 MHz was the highest practical frequency.

Detectability of 300MHz was about 5μm under optimal conditions and not enough for TSV and Cu. pillars that are applied to the latest LSI packages.
FineSAT HR is the answer in developing new equipment and improving resolution to overcome the limitations of ultrasonic inspection tools.