고해상도로 정평이 나있는 FineSAT Ⅲ를 기반으로 해상도를 향상 시켰습니다.
고해상도 화의 대처로서 종래부터 사용하는 초음파의 주파수를 올릴 수 행해지고 왔습니다.
고주파 화는 한편으로 전달하는 매질에서의 감쇠가 커져 S / N 비가 저하되는 폐해가 커지므로 검사 용도로는 300MHz 전후가 실질적인 최고 주파수가 있었습니다.

300MHz의 주파수의 초음파는 최적 조건에서 5μm 정도의 폭의 라인 패턴의 인식에 머물러 최신 LSI 패키지에 적용되고있는 TSV, Cu 필러 등의 미세 구조의 검사에 적용 할 수 없음 수 있습니다.
FineSAT HR은 이러한 초음파 검사 장치의 한계를 넘는 위해 새로운 전기 회로를 개발하고 분해능을 향상시키는 데 성공한 기종입니다.