고분해능과 조작성으로 호평을 받고있습니다.
FineSAT 전자 스캔 방식의 ES5100 시리즈를 결합, 빠른 검사 기능을 추가 한 하이브리드 타입의 장치입니다.

기존에는 빠른 검사에서 발견 된 이상 더 많은 것을 알아내기 위하여 피 검체를 다른 장치에 옮겨 재측정을 하고 있었습니다만,
FineSAT Hybrid는 피 검체의 이송 작업을하지 않고 1대로 이상 분석이 가능합니다.
생산 라인의 단기간의 수율 향상을 강력하게 지원합니다.
표준 타입 외에도 대형 샘플이나 여러 샘플의 동시 측정에 대응 한 길이 스트로크의 와이드 타입도 라인업했습니다.

싱글 프로브 (왼쪽)과 어레이 프로브 (오른쪽)의 동시 장착 예

Twin Probe

고정밀 측정이다 싱글 스캔 방식의 싱글 프로브와 빠른 측정이 가능한 전자 스캔 방식의 어레이 프로브가 동시에 장착 가능합니다.
싱글 프로브 / 어레이 프로브의 전환은 프로브 선택 화면에서 마우스 조작으로 전환 할 수 있습니다.

High Speed

어레이 프로브를 사용한 측정은 단일 프로브의 측정보다 약 3 ~ 10 배 (*) 의 속도로 이미지를 볼 수 있습니다.
(* : 당사 대비 측정 조건에 의한)

Combination

어레이 프로브는 25,50,75MHz 중에서 도입시 선정드립니다. 싱글 프로브는 기종에 따라 5~300MHz의 프로브를 사용할 수 있습니다.
어레이 프로브에 의한 고속 측정 후, 신경이 쓰이는 부분을 단일 프로브에서 측정 고화질 이미지 분석 평가 등 업무의 효율성 향상을 도모 할 수 있습니다.