히다치 초음파 탐상장비

  2. 히다치 초음파 탐상장비
  3. FS LINE / FS LINE Hybrid

FS LINE / FS LINE Hybrid

요약

FPD, 태양 전지용 스퍼터링 타겟 및 세라믹 부품 등의 대형화에 따르는 재료나 부품처럼 FineSAT 시리즈의 장치에서는 대응할 수 없는 대형의 샘플 검사를 위해 대형 스캐너와 대형 수조를 적용시킨 모델

싱글 프로브 용 FS LINE 이외에 단일 프로브 및 어레이 프로브를 함께 사용하여 대형 제품의 검사 시간을 단축 할 수 FS LINE Hybrid도 준비하고 있습니다.

또한 옵션으로 원통형 / 원통형 물체의 표면을 검사하기위한 회전대도 준비하고 있습니다. 수조와 스캐너의 크기에 관한 상담도 부담없이 말씀해주십시오.

Equipment for large samples that FineSAT cannot support, such as large materials or parts like FPD, solar cell sputtering targets and ceramic parts.

FS LINE Hybrid which can shorten inspection time for large products by using single probe + array probe is also available

As an option, a rotating table for inspecting cylindrical objects is also available. Please feel free to contact us regarding the size of the water tank and scanner.

모델 FS LINE FS LINE Hybrid
프로브 방식 싱글 프로브에 의한 기계적 스캔 방식 기계적 검사 또는 위상 배열 프로브에 의한 전자 스캔 2 방식 지원
본딩부의 검사 시간 예 (*) 약 10 분 1 분 30 초
(위상 배열 프로브에 의한 전자 검사에서 측정)
Model FS LINE FS LINE Hybrid
Probe Type Single Probe, Mechanical Scan Single and Array Probe, Mechnical + Elecrtical
Bonding Area Scanning Time about 10mins. 1.5min. (Array Probe)

특징 사양

FS LINE Hybrid 사양

FS LINE Hybrid specific

베벨 전자 스캔 빔 제어 이미지

Bevel Scan Beam control Image

FS LINE은 정밀한 측정뿐 아니라 FineSAT 플랫폼 적용으로 안전성도 중시하고 있습니다.

FS LINE Hybrid는 저주파 영역의 어레이 프로브에서 높은 효율을 발휘합니다. 이를 통해 샘플과 백킹 플레이트의 접합 검사와 샘플 내부의 보이드 검사를 동시에 실시 할 수 있습니다.

또한 싱글 프로브는 검사가 어려운 테이퍼면에서도 베벨 전자 스캔 할 수 있습니다.

FS LINE not only focusing on precise scanning also safety by applying the FineSAT platform.

The single probe also scan bevel tapered shape which is difficult to scan mechanically.

형식 신형 장비
동시 송수신 수 최대 32 소자
해당 소자 수 최대 128 소자
배열 방향 전자 포커스 프로그래머블
수신 대역 5, 10, 15MHz
Type New Type
No. of Probes integrated max. 128
Directional electrical Focus Programmable
Frequency 5, 10, 15MHz

스캐너 부 유효 주사 범위

Scanning Range

유효 주사 범위 4,000 × 2,000의 예

i.e. 4,000 x 2,000mm scanning

유효 주사 범위 (단위 : mm)
Scanning Range (Unit : mm)
750 × 800
1,550 × 2,000
4,000 × 2,000