FPD 및 태양 전지용 스퍼터링 타겟 및 세라믹 부품 등의 대형화가 진행 재료 · 부품처럼 FineSAT 시리즈의 장치에서는 대응할 수없는 대형의 대상물의 검사를 대형 스캐너와 대형 수조를 채용하는 것으로 대응할 수있는 있도록 한 것이 FS LINE입니다.

싱글 프로브 용 FS LINE 이외에 단일 프로브 및 어레이 프로브를 함께 사용하여 대형 제품의 검사 시간을 단축 할 수 FS LINE Hybrid도 준비하고 있습니다.

또한 옵션으로 원통형 / 원통형 물체의 표면을 검사하기위한 회전대도 준비하고 있습니다. 수조와 스캐너의 크기에 관한 상담도 부담없이 말씀해주십시오.

FS LINE Hybrid 사양 (어레이 관계)

베벨 전자 스캔 빔 제어 이미지

FS LINE은 정밀한 측정과 FineSAT 기반의 사용성으로 안전성도 중시하고 있습니다.

FS LINE Hybrid는 저주파 영역의 어레이 프로브에서 높은 덤핑 화를 도모했습니다. 이를 통해 타겟 재와 백킹 플레이트의 접합 검사와 타겟 재 내부의 보이드 검사를 동시에 실시 할 수 있습니다.

또한 싱글 프로브는 검사가 어려운 단부의 테이퍼면에서도 베벨 전자 스캔 할 수 있습니다.

유효 주사 범위 4,000 × 2,000의 예

유효 주사 범위 (단위 : mm)

750 × 800

1,550 × 2,000

4,000 × 2,000