4-8 인치 웨이퍼 라인
(웨이퍼 카세트 대응)

WAFER LINE은 SOI · 접합 웨이퍼 등의 웨이퍼 검사 전용기입니다.
요청에 의해 로봇에 의한 자동 이송, 자동 측정, 자동 판정까지 전자동으로 실시 할 수 있습니다.
이미 여러 고객의 양산 라인에서 연속 가동 실적을 쌓고있어 높은 평가를 받고 있습니다.

반도체 전 공정 생산 라인 설치용

장치의 처리실 청정도 클래스 3 (ISO) 이상
(클린 룸 장비를 조립합니다)
SUS 케이스, FOUP 대응

빠른 검사

전자 스캔 방식 어레이 프로브 사양은 동일한 해상도의 싱글 프로브 사양에 비해 고속 표시가 가능합니다.
(기계 부분의 움직임이 적고, 청정도 유지에도 기여합니다)