4-8 인치 웨이퍼 라인
(웨이퍼 카세트 대응)

4-8 inch Wafer Line
(Cassette Applicable)

WAFER LINE은 SOI · 접합 웨이퍼 등의 웨이퍼 검사 전용기입니다.
요청에 의해 로봇에 의한 자동 이송, 자동 측정, 자동 판정까지 전자동으로 실시 할 수 있습니다.
이미 여러 고객의 양산 라인에서 연속 가동 실적을 쌓고있어 높은 평가를 받고 있습니다.

WAFER LINE dedicated to wafer inspection, such as SOI and bonded wafers. Field-proven performances in many cusotmer sites and production lines 24hrs 7days.
Fully automatedc transfer by robot, automatic measurement, and automatic analysis by request..

반도체 전 공정 생산 라인 설치용

장치의 처리실 청정도 클래스 3 (ISO) 이상
(클린 룸 장비를 조립합니다)
SUS 케이스, FOUP 대응

빠른 검사

전자 스캔 방식 어레이 프로브 사양은 동일한 해상도의 싱글 프로브 사양에 비해 고속 표시가 가능합니다.
(기계 부분의 움직임이 적고, 청정도 유지에도 기여합니다)

For Front-end Fab.

> Cleanroom Class 3 (ISO)
SUS case etc.

High-Speed scanning

The electronically scanned Array probe provides faster scanning compared to Single probe under the same resolution.
(Less movement, Cleaner room conditon)